Trước đây, Tiền Châu là một xã thuôc huyện Yên Lãng, tỉnh Vĩnh Phúc.

Ngày 5 tháng 7 năm 1977, huyện Yên Lãng sáp nhập với huyện Bình Xuyên thành huyện Mê Linh[3], xã Tiền Châu thuộc huyện Mê Linh.

Ngày 9 tháng 12 năm 2003, Chính phủ ban hành Nghị định 153/2003/NĐ-CP[4]. Theo đó, chuyển xã Tiền Châu về thị xã Phúc Yên vừa tái lập.

Ngày 7 tháng 2 năm 2018, Ủy ban Thường vụ Quốc hội ban hành Nghị quyết số 484/NQ-UBTVQH14[1]. Theo đó, thành lập phường Tiền Châu trên cơ sở toàn bộ 7,14 km² diện tích tự nhiên và 12.689 người của xã Tiền Châu, đồng thời chuyển thị xã Phúc Yên thành thành phố Phúc Yên thuộc tỉnh Vĩnh Phúc.